一、 超純水系統(tǒng)總體介紹
隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過(guò)程中，對(duì)于水質(zhì)的要求也越來(lái)越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)牧?、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是其中關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。

超純水系統(tǒng)總體來(lái)說(shuō)一般可分為三個(gè)部分：

超純水制造區(qū)（CUB部分）；

超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）；

超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區(qū)）。

其中超純水制造復(fù)雜其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。

預(yù)處理部分主要包括：石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器（有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池）；

一次純水部分主要包括：陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過(guò)濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透；

超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、拋光混床（SMB）及終端過(guò)濾器。

但是由于考慮到在向工藝線設(shè)備輸送高純水過(guò)程中，輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，再加上終端超濾設(shè)備（UF），以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過(guò)程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

二、 超純水系統(tǒng)中各階段常用管材
在超純水系統(tǒng)中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質(zhì)、又應(yīng)該做到經(jīng)濟(jì)合理。超純水系統(tǒng)中常用管材主要包括：U-PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。

一般在超純水制造區(qū)預(yù)處理階段多采用U-PVC管或SUS304管。設(shè)備面管一般采用內(nèi)襯膠鋼管（SGP RL），對(duì)于水泵等產(chǎn)生震動(dòng)的動(dòng)力設(shè)備周邊采用SUS304管；在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透（RO）之間，由于壓力高，所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mpa級(jí)法蘭。由于RO對(duì)水溫有一定要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應(yīng)采用SUS304管；在超純水制造階段，主流程一般應(yīng)采用SUS316管和CPVC管；拋光循環(huán)區(qū)主流程一般采用SUS316管（焊接連接，并要求雙面成型）和PVDF管,超純水回收管道采用CPVC管。

在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通U-PVC管；在純水制造過(guò)程中酸堿等加藥管線，應(yīng)采用耐沖擊PVC管；純水系統(tǒng)中使用的氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS304管，超純水拋光系統(tǒng)所用氮?dú)夤艿啦捎肧US316管；壓縮空氣系統(tǒng)在純水系統(tǒng)中作為氣動(dòng)閥開(kāi)關(guān)動(dòng)力，一般采用SUS304管或SGP管，當(dāng)采用SGP管時(shí)進(jìn)入電氣盤前需加過(guò)濾器。